폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에의해 형성된 미세전극

Method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane and Fine electrode formed by the same
제목
폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에의해 형성된 미세전극
제목 (타언어)
Method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane and Fine electrode formed by the same
저자
선경; 권구한; 백주열; 이상훈
발행일
2008-10-14
출원번호
10-2007-0016663
등록번호
10-0864536
출원일
2007-02-16
등록일
2008-10-14